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| JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除 |
| Faults Study and it Solution of JEOL JSM-35C Scanning Microscope |
| 投稿时间：2002-12-18 修订日期：2003-01-29 |
| DOI： |
| 中文关键词: 扫描电子显微镜 故障分析 |
| 英文关键词:scanning microscope faults analyses |
| 基金项目: |
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| 中文摘要: |
| 在介绍真空系统联锁控制流程图的基础上,选择了粗真空系统抽力变差、进样系统泄漏、真空联锁保护电路误动作、二次电子检测高压电路故障、二次电子检测电路故障、倍率放大器故障和图象放大倍率校正等七个有代表性的、已排除的故障实例进行深入分析研究,提出排除故障的思路和办法. |
| 英文摘要: |
| The diagram of vacuum control is introduced. Typical faults occurred are analyzed and Studied thoroughly. Ideas to resolve these faults are given. |
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